摘要:面向化工集成电路发展的智能制造与绿色工艺集成创新研究及应用,是推动先进电子材料、精细化工制造与半导体产业深度融合的重要方向。随着集成电路技术不断向高性能、高可靠性和低能耗方向发展,传统化工生产模...
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